1 仪器简介

场发射扫描电子显微镜SEM  Sigma 360是由德国蔡司制造，采用肖特基热场发射电子枪及GEMINI电子光学系统设计，束流稳定性高，优于0.2%/h，低电压分辨率优异，GEMINI物镜无漏磁设计可完成磁性样品高分辨成像，具有广泛的样品适用性。仪器配置的In-lens探测器、SE2探测器、BSD探测器可对样品进行高分辨率的极表面形貌表征、高景深的立体结构表征、不易荷电的成分衬度表征。配置牛津能谱探测器，接收不同元素（原子）发出的特征X射线，识别元素（原子）种类，可实现元素定性定量分析，具有点扫、线扫、面扫的分析模式。

2 仪器应用范围

SEM可获取各类样品在微观世界中清晰、真实的图像，从而实现对各种材料样品的微观结构表征、成分衬度表征、晶体晶相表征，元素定性定量分析、原位测试分析，是微区分析的重要手段。目前已广泛应用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、化学、物理、能源、生物、医学、半导体材料与器件、地质矿物等研究领域。主要用于材料的微区形貌高分辨成像（几十纳米）及成分分析。

3 仪器地点及联系人

放置地点：陕西省西安市长安区西安交通大学创新港校区1号楼1 层1005

预约网址：http://equip.xjtu.edu.cn/

收费标准：

联系方式：潘老师 13619250313，675205069@qq.com

附：仪器参数及其他附加功能与典型应用

1 仪器参数

1.1分辨率：0.9nm@15kV， 1.3nm@1kV；

1.2加速电压：20V～30kV；

1.3放大倍数：10~1,000,000X；

1.4样品台马达移动范围：125mm（X方向），125mm（Y方向），50mm（Z方向），-10～90°（倾斜），360°（旋转）；

1.5最大样品尺寸：直径235mm（XY平面内可全部观察到）。

2 其他附件

配置专业的原位液体电化学样品台，通过10nm超薄视窗，实现液相中SEM高分辨显微观测可实现液相下样品真实形貌/成分表征、液相反应机制研究、电子束辐照驱动的化学反应、可以封装反应体系样品（电极材料、电解液等），利用电化学工作站施加电信号，驱动反应进行电化学反应机制研究。

3 典型应用

3.1 SEM

  3.2 能谱

  3.3 原位测试

国家储能平台测试评估中心

2025年3月6日